 产品名称： 高温退火炉 |
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| 应用领域：用于SiC、GaN等的高温活化退火等工艺 |
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| 关 键 字：高温退火炉、SiC高温退火炉、碳化硅高温退火炉 |
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| 产品咨询电话：4008-110044 |
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| 产品详细描述： |
工艺：用于SiC、GaN等的高温活化退火等工艺
晶圆规格：2”4”6”SiC、GaN等晶圆
设备结构：水平/垂直
工艺温度：1850/2000℃
炉体温度：可达2000℃或更高
生产能力：研发型/小批量，生产型
设备特点：
优化结构设计 占地面积小
灵活多样的工艺调整
半自动/全自动的选择
快速的升降温：如200℃/min
极限真空 1 Pa
压力控制：如100 Pa至300Pa(或其他要求)
多种的装片方式
极方便的操作、维护方式
极低维护使用成本
极高的可靠性
终生的技术支持！
青岛精诚华旗（“华旗科技”）拥有十几年的专业研发制造经验，产品服务广泛应用于行业内的大专院校科研院所、半导体制造、高性能磁性材料制造的企业工厂等。
青岛精诚华旗（“华旗科技”）拥有精良的科研、设计、制造、服务团队，为中国电子专用设备协会、中国磁性材料与器件协会等多家协会会员单位，承接并出色完成了一系列国家重点项目的专用设备的设计制造。
2006年通过GB/T19001-2008(ISO9001:2008)质量管理体系认证。
