1、EVO MA10 的束流范围为0.5pA – 5uA，而其他厂商钨灯丝扫描电镜最束流大仅为2uA

2、智能化系统能够自动完成光路对中、调节放大倍率、聚焦和载物台移动

3、系统会根据所选样品设置最佳的成像条件

4、在低电压下，可利用高分辨背散射电子探测器实现具有清晰衬度的表面细节成像

5、针对电子束敏感样品或样品表面形貌分析，电子束减速技术能够在低加速电压下提供更高的分辨率及更大的探针电流

6、通过 EVO HD 将高分辨电子束技术引入传统扫描电镜，进一步增强图像衬度和提升分辨率控制

 

技术指标：

1、分辨率：3.0nm@ 30KV(SE and W)、4.0nm@ 30KV(VP with BSD) 

2、加速电压：0.2—30KV 

3、放大倍数：7—1000000x 

4、探针电流：0.5PA-5μA

5、X-射线分析工作距离：8.5mm， 35度接收角 

6、低真空压力范围：10—400Pa (LS10:10-3000Pa)

7、工作室：310mm(φ)×220mm(h) 

8、5轴优中心自动样品台：X=80mm  Y=100mm  Z=35mm  T=0-90°R=360°

9、最大试样高度：100mm，最大试样直径：200mm