一、炉体材料:
★ 炉丝:Φ6~Φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。
★ 绝缘子:采用99瓷制作,碳化硅管用高脚,石英管用矮脚。
★ 保温棉: 采用英国摩根公司生产的高温保温材料。
★ 外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。
★ 热偶座:进口弹簧卡状固定座。
★ 把口环:陶瓷纤维把口环,既保温,又有一定机械强度。
二、炉体参数:
★ 工作温度: ≤1300℃
★ 恒温区长度: 500mm-1000mm
★ 炉体内径: Φ90~Φ360 mm(3~12英寸)
★ 规范使用: 寿命可达20个月以上(1200℃)
★ 替代进口: 全方位配套
三、应用:
青岛晨立电子有限公司生产的扩散炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、THERMCO,荷兰ASM,英国BTU等国外多种型号扩散炉配套(替代进口),采用国外先进的加工工艺,选用进口材料,可应用于处理3~12英寸硅片的扩散炉/太阳能电池片扩散炉。
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