MEMS工艺代工

  公司专注 MEMS 工艺代工服务。依托于国内外先进的工艺设备，团队成员拥有丰富的 MEMS 加工和设计经验， 确保了高品质的加工工艺。 本公司长期提供微纳代工单步或多步整合工艺代工，提供 2-4-6 英寸 MEMS 晶圆加工工艺以及单步工艺加工服务，拥有接触式光刻、电子束光刻机、扩散炉，磁控溅射(直流和射频）、电子束蒸发，金属电镀、 CMP芯片切割（砂轮划片、半导体切割机）、XRD、台阶仪等等，长期提供高品质、低价格dummy/test/prime级别单晶硅片（2/4/6/8/12寸）、SOI片（4/6/8寸）、陶瓷片、蓝宝石片、石英玻璃片、以及各种镀Al、Au、Pt、GE、IN等金属，蓝宝石、玻璃片、石英片上制作金\铝\铜电极等。

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