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电子束蒸发镀膜

发表于:2020-04-14  作者:ioptee01  关注度:432

 联系方式:18951907529
电子束蒸发系统主要用于在Si等材质基板上蒸发沉积Al,Au,Ag,Cr,Cu,Mo,Ni,Pt,Sn,Ti,AuGe等金属薄膜,片内片间均 匀性及重复性优于±3%,可用于最大6英寸晶圆片。
蒸发台型号ULVAC ei-501z

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