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4001027270
设备名称：ITO电子束蒸发台 / 台湾聚昌
用途：蒸发透明导电薄膜ITO
技术指标：
1. 样品尺寸：102*2英寸、21*4英寸、12*6英寸
2. 基底刻蚀温度： 室温-350℃可调，控温精度1℃
3. 极限真空：2×10-7 torr，蒸发均匀性：<±5%
案例：
不同氧流畅ITO形貌
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