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1μm线条光刻 多层光刻板精准套刻
广东省半导体产业技术研究院微纳加工平台,拥有半导体器件制备工艺研发所需的整套仪器设备,可提供镀膜、刻蚀、光刻等技术服务,加工尺寸覆盖2-6英寸。
微纳加工平台面向国内外科研机构和企业提供全方位的开放服务,我们将对半导体材料与器件的深入研发给予全方位支持,为广大科研单位和企业提供高品质服务。
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