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1,光刻
1X光刻,步进式光刻,双面对准光刻
2.薄膜沉积
LP SIN OXIDE, PE SIN OXIDE,
3,金属沉积
Pt, Au, Al的蒸发和溅射
4,刻蚀
湿法腐蚀 SIN oxide ,Al, SIN
干法
5,光刻版制版
6,封装划片
7,减薄,激光切割
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