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江苏英特神斯科技有限公司
江苏英特神斯科技有限公司是归国留学人员创办的专业从事MEMS软件研究开发和硬件设计制造的高科技企业,拥有国际先进水平的MEMS、微米纳米设计技术。公司技术力量雄厚,生产设备先进,检测手段齐全,产品质量过硬。
公司建立了完备的微流控芯片研发与生产中心,配置了完整的微流控芯片生产线,包括硅基和玻璃上的金属层淀积加工,数控CNC微加工仪器,软刻蚀有机芯片加工系统,光刻-掩模无机芯片加工系统,可以加工生产所有材质的芯片,如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。产品涵盖集成式通用医疗诊断芯片、集成式通用环境保护分析监测芯片、集成式通用食品安全分析检测芯片和基于微流控芯片的新能源体系四大系列数十个品种,以及各类科研类芯片。
微流控芯片介绍
片基为玻璃、硅片、PMMA、pdms等材料,由通道、进液口、检测窗等结构构成。外围设备有蠕动泵,微量注射泵,控温,加速度,及紫外,光谱,荧光等检测部件组成。可以将生物学实验室的实验过程浓缩到一个片基上,因此又称为LAB on chip。片基的结构由具体实验决定,设计和加工微流控芯片片基是做微流控实验的基础。附加在芯片结构上的电器设备是芯片实验的必要组成部分,主要功能如驱动液路的流动,液路的流向,温度调控,图像采集和分析,反馈和自动控制等。
微流控芯片加工技术手段
◆ 硅片、玻璃和PDMS材料上微通道加工
◆ 多种金属电极制备
◆ 多层硅片、PDMS及玻璃键合工艺
◆ PMMA夹具、模具加工
◆ 玻璃打孔
基于玻璃的微流控芯片加工流程
1.版图设计 | 2.模型分析 | 3.芯片加工 |
4.检查测试 | 5.切割划片 | 6.夹具配置 |
我们的优势
丰富的项目研发和加工经验,完备的微流控芯片生产线,为您提供“设计-加工-封装-测试”一站式服务。
刻蚀技术优势:KOH和TMAH各向异性湿法腐蚀工艺可以控制腐蚀深度精度在±1um级别;TMAH各向异性湿法腐蚀工艺可以得到非常光滑的腐蚀表面。
键合技术优势:玻璃-玻璃键合工艺,键合强度可以达到真空气密封装要求。
低应力金属薄膜制备技术优势:利用低应力的金属薄膜来制备电极,可以使器件的稳定性更高,耐热循环的能力更强。
芯片形貌测试优势:多种仪器和设备满足全方位精细测量器件的表面形貌,三维结构,剖面等需求。
我们的产品
◆ 微流控芯片成品
◆ 微流控芯片芯体
◆ 微流控芯片夹具和模具
微流控芯片研发加工收费
收费根据加工方法,精度,复杂度等,批量和单件少量件价格不同,请咨询我们。
商家资料
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