一、 产品用途及特点
本设备主要适用于6英寸及以下半导体材料（如硅、碳化硅、砷化镓、磷化铟…等）及蓝宝石、硅化物、陶瓷、玻璃、水晶等硬脆材料的高速高精度多片切割加工,主要有以下特点:
1. 设备具有精密温度控制系统，采用热交换器对切削液进行冷却，以确保切削液的温度控制，切片精度高，翘曲度小，切片质量稳定，切割成本小。
2.该设备采用全伺服电机驱动，导轮使用少，路径简短，稳定可靠，装配维修迅速。
3.电气控制系统采用贝加莱控制系统及伺服驱动系统，控制精度高、响应速度快，并具有能量回馈功能（可将减速过程中的动能转化为电能回馈至电网），降低了运行成本；齐备的工艺参数设置显示，拥有20套20步的切割工艺，最大限度的发挥设备硬件功能；另有自定义选项，用于满足客户的特殊操作要求；并可选配工厂网络接口，可实现远程监控。
4. 该设备采用双主辊同步拖动，能够减少罗拉磨损、保证线网张力的稳定、张力摆臂稳定。主轴各导轮采用间隙迷宫结构，并辅以压缩空气进行密封；轴承润滑采用脂润滑方式，安装维护方便；轴承座外周设有冷水套，对主轴内的轴承进行强制冷却。
5.设备具有断线检测功能，及时报警停机，准确可靠。
6.设备操作简单，保养方便。
二、设备主要技术参数
1、最大加工尺寸
方料：（宽×高×长）150mm×150mm×300mm
圆料：（直径×长度）φ150mm×300mm
2、线辊主轴
主轴参数：φ190mm±7.5mm×310mm×2轴
轴间距：450mm
3、切割线
切割最大线速度： 15m/s
钢线直径： φ0.10mm～φ0.25mm
供线轮绕线能力： 30km×1
4、工作台
升降行程： 最大225mm
切削速度： 0.01-9.99mm/min（根据用户工艺可自行设定）
快速移动速度： 最高300mm/min
5、主轴摆动
摆动角度： ±7deg
主轴摆动速度： 30次/min
6、供砂系统
液桶容量： 90L
供砂量： 最大200L/min
砂浆温度控制方式： 热交换器冷却
7、动力单元功率
主轴驱动电机： 17.8kW （交流伺服）
切割线供给/回收电机： 7.37kW×2 （交流伺服）
排线电机： 0.33kW×2 （交流伺服）
工作台升降电机（带减速） 1.45kW （交流伺服）
张力控制电机： 4.15kW×2 （交流伺服）
主轴摆动电机（带减速）： 1.8 W (交流伺服）
砂浆泵电机： 4kW/3kW （变频控制）
8、外形尺寸（长×宽×高）： 2550 mm×1900 mm×2450mm
9、设备重量： 约5500kg
10、噪声： ≦75dB(A)
三、产品选配表：
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序号 |
名称 |
标配 |
可选 |
备注 |
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1 |
供液桶及回液桶1套 |
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2 |
导轮 |
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3 |
内六方扳手 |
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4 |
减震垫铁 |
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5 |
测力辊包胶 |
● |
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6 |
扳手组件 |
● |
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7 |
球头工装 |
● |
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8 |
拆卸工装1 |
● |
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9 |
拆卸工装2 |
● |
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10 |
轴承拆卸工装1 |
● |
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11 |
轴承拆卸工装2 |
● |
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12 |
滑套拆卸工装 |
● |
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13 |
收放线辊 |
● |
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14 |
切割辊 |
● |
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15 |
工件安装台 |
● |
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16 |
粘料板 |
● |
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17 |
螺钉M8×20 |
● |
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18 |
弹垫8 |
● |
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19 |
螺钉M8×16 |
● |
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20 |
螺钉M8×20 |
● |
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21 |
扭矩扳手及其附件 |
● |
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22 |
冷水机 |
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○ |
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●标配 ○可选装
四、使用环境：
设备应安装在地面平坦，安装厚度应大于300mm，远离振动源，无灰尘烟雾污染的场所。
1、工作温度： 15℃-25℃
2、气源： 0.4-0.6MPa
3、相对湿度 ≦90%
3、冷水水源： 0.25-0.4MPa 100-150L/min 7-12℃
4、电源： AC380V，50Hz (三相五线制)