X62 S36D-T型抛光机

产品简介：本机是我公司新一代单面抛光机，主要用于φ50-φ150mm蓝宝石、电子材料半导体硅片、锗片、计算机磁盘基片以及光学材料等金属、非金属硬脆材料的单面高精度抛光加工。

主要特点：

2.1主抛盘和上抛头均设有强制冷却（可选配冷水机），采用红外测温、闭环控温；四个研磨头采用变频调速主动转动，上抛头的压力用电气比例阀调控实现了多段压力控制，可大区段自动加压，最大压力可达450g/cm²；

2.2在控制上采用了工控机控制，灵敏性好，反馈迅速控制精确，且能满足各种特定工艺的需求，操作方便，显示丰富； 

2.3电气控制器件采用国外品牌（OMRON 、Raytek、和泉及施耐德等），可靠稳定；

2.4主传动采用了椿本的环面包络蜗轮蜗杆减速箱，四个研磨头采用了台湾利明减速电机驱动，运转平稳寿命长；

2.5主支座支撑处装有四个减震器，很好的保证了各种工况下上下盘间的平行度，保证了加工质量。

2.6采用磁力驱动泵输送抛光液，出液口配有分液装置及沉淀水槽；配有冲洗开关水枪；

主要技术参数：

产品选配表：

●标配  ○可选装

使用环境：

1） 设备应安装在地面平坦，远离振动源，无灰尘烟雾污染的场所。

2） 温度10℃-25℃

3） 相对湿度≦95

4） 电源电压AC 380V ，50Hz

5） 压缩空气源 0.5-0.6Mpa（必须为干燥的清洁空气）

6）冷却水水压：2kgf/cm2 以下

水量：15L/min  温度：7～12℃