Ø 每种化学液采用一备一用双桶单泵配置，同时具备漏液报警，原液通低液位报警等功能

Ø DI水隔膜泵冲洗功能是指用DI水冲洗化学液管路，防止操作人员因管路内残留化学液而导致的危害隐患

Ø 所有化学液输送管路PFA管外须有PVC外套管，防止漏液时化学液漏到CDS设备或机台外部