半导体清洗设备
硅片清洗设备
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单价 10000.00
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 本机适用于2“-8”硅片清洗,整机均采用纯天然聚丙烯(NPP德国进口)材质焊接而成,本体前方安装有防护隔离门,隔离门采用进口透明PVC板制成,前门可以轻松开闭和高度任意限定,在清洗过程中,隔离门关闭,以尽量改善工作环境并减小对人体的伤害.其内部结构组成:加热槽(均采用PVDF材料)、QDR快排冲洗槽、冲洗水枪(PFA)、气枪(PFA)、电气控制、废液排放及排风系统等。工艺过程全自动,机械手在槽间转换靠PLC来控制,美国进口导轨和机械手来满足工艺时序整机耐酸性能好,操作人性化,运行安全可靠,是半导体生产线理想的硅片清洗设备。 
 
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