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电极的适用温度范围宽，-150°C至400°C
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兼容200mm以下所有尺寸的晶圆
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快速更换到不同尺寸的晶圆工艺
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购置成本低且易于维护
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紧密的设计，布局灵活
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实时清洗和终点监测
PlasmaPro 100 Cobra
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| 单价 | ￥0.00 |
| 库存 | 1件 |
| 品牌 | 牛津 |
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PlasmaPro 100系列刻蚀和沉积设备可安装多种衬底电极，能够在很宽的温度范围内进行工艺，具有200mm单晶圆和多晶圆批处理能力，该工艺模块可提供具有高度均匀，高产量和高精度的工艺。
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公司:SEMI TECHNOLOGY LIMITED
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姓名:Semi(先生)
电话: 0852-35791000
手机:18730636030
传真:0852-21521630
地区:中国-香港
地址:香港九龙旺角通菜街1A-1L号威达商业大厦17-11
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