等离子刻蚀机VP-RS15真空腔体不锈钢材质，腔体容积15升，两路进气通道，进气量可调，流量实时监测，数显真空检测，实时观察自动泄压动态，中英文操作系统，触摸屏控制，功率500W，频率13.56MHz，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行3分钟，腔体温度不高于45℃，不损伤样品，适用于晶圆去胶、煤灰化、碳毯（CF）、微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的处理。