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厂家直销13.56MHz固态射频电源-体积小寿命长-沃特塞恩电子
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 13.56MHz/3kW全固态射频电源采用全固态射频功放技术,工作频率范围为13.56MHz,功率范围从2W至3KW,是为半导体生产制造新一代功率源。其主要由电源模块、射频发生器、射频放大器、控制系统、接口模块以及冷却装置等6大部分构成。

 

沃特塞恩固态射频电源具有能耗低、体积小、寿命长、性能稳等优点。

 

> 频率源采用 DDS 直接数字频率合成技术,频率稳定度高;

> 射频电源有着很好的功率稳定度;

> 适应多种驻波比的负载;

> 拥有完善的保护电路,保证射频电源可靠运行;

> 电源功放使用贴片型半导体三极管制作,寿命比传统分立式三极管更长;


固态射频电源应用范围:

半导体工业方面如等离子体刻胶、等离子蚀刻 、 RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD和PVC等系统、等离子清洗、PECVD、板条射频激光源等

固态射频电源更多详细参数请见:http://www.wattsine.com.cn/productview-16-40.html

 

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