成都沃特塞恩电子技术有限公司生产的这款型号为HMPS-2060SP的微波等离子体CVD设备(CVD钻石生长设备)具有以下优势特点:
. 采用沃特塞恩第三代高稳定固态功率源;上馈式圆柱型放电腔。
. 性能先进,安全、可靠性强、重现性好,操作简便。
. 多参数实时监测、采集与记录,PLC屏幕控制,多重联锁保护。
应用范围:高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长。
多种薄膜的CVD制备、材料表面处理和改性、低温氧化物的生长等。
适合光学、电子、工具级金刚石膜或单晶、石墨烯等的产业化生产,材质表面处理、低温氧化物的生长等。
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