表面缺陷检测装置【魔镜】
应用魔镜的原理，高灵敏度地检查镜面样品的表面状态。可以高灵敏度地检测样 品表面上的不均匀性，翘曲，抛光不均匀性等，检测结果在监视器上用亮度(白 )和暗度(黑)表示。 检查可以在非接触和非破坏性的情况下进行，并且可以立即确认样品的表面状态 。 这是一款使用免维护光学系统，可操作性优异的设备。
特长：
1.所有的表面状态都是即时的。
2.我们的光学系统对应是1级的。
3.光学系统是免维护的。
4.根据检查内容，检测灵敏度/检测放大率可以进行变更
5.根据每个样品和检查位置定制较佳光学系统
用途：
l 镜面晶圆的表面检查
l 滑移线的检查
l 玻璃基板的检测
l 其他镜面基板的检测
l Film等的基板以外的检查
规格：
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标准型（YIS-200SP,300SP ） |
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检查内容 |
平坦度、DIMPLES 、Mound、Sawmark、Oriangepeel等 |
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使用光源 |
卤素灯(550nmFiltering)定照度化亮灯 |
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照度可变 |
连续可变（设定值表示） |
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Camera |
CMOSCamera |
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检查区域 |
φ200mm以下(YIS-200SP)、φ300mm以下(YIS-300SP) φ300mm~φ450mm(可以按特别要求进行制造) |
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检查倍率 |
等倍・3倍模式切换 （标准装备） |
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感度调整 |
连续可变（设定值表示） |
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检查时间 |
瞬时影像输出表示 |
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装置构成/ 外形寸法 |
光学系本体(YIS-200):560(W)X892(D)X1465(H)mm 约30kg |
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光学系本体(YIS-300):600(W)X1008(D)X1630(H)mm 约50kg |
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电源单元(共通):320(W)X400(D)X110(H)mm 约5kg |
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显示器・控制用PC |
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电源 |
电源单元:AC 100V 50/60Hz MAX.3A 显示器・控制用PC:AC 100V 50/60Hz MAX.1** |
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高倍率大型（YIS-50HM ） |
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检查内容 |
滑移线、Edge、面粗等 |
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使用光源 |
卤 素 灯 (550nmFiltering)定照度化亮灯 |
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照度可变 |
连续可变（设定值表示） |
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Camera |
CMOS Camera |
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检查区域 |
15mm(W) X 10mm(D) |
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检查倍率 |
约30倍 |
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感度调整 |
连续可变（设定值表示） |
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检查时间 |
瞬时影像输出表示 |
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外形尺寸 重量 |
光学系本体:420(W)X700(D)X970(H)mm 约30kg |
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电源单元:320(W)X400(D)X110(H)mm 约5kg |
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显示器・控制用PC |
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电源 |
电源单元:AC 100V 50/60Hz MAX.3A 显示器・控制用PC:AC 100V 50/60Hz MAX.1** |