| 型号 | ETM-1200 |
| 外观尺寸 | 760*500*500mm |
| X、Y测量行程 | 200*200mm |
| Z轴可调行程 | 1.6-100mm |
| 有效测量范围 | 160*160mm |
| 扫描最少步距 | 1μm |
| 光斑直径 | 18~30um |
| 横向分辨率 | 9~15um |
| 检测重复精度 | 0.1μm |
| 精度 | ≤1um |
| 线性度 | ˂0.1% |
| 轴向分辨率 | 30nm |
| 与表面角度 | 90°±2° |
| 测量厚度范围 | 10~2900um |
| 适应材质 | Si(硅)、Doped-Si(涂层硅)、SiC(碳化硅)、Sapphire(蓝宝石)、GaAs(砷化镓)、Glass(玻璃)、GaN(氮化镓) |
| 测量原理 | 红外光干涉 |
| 电源 | AC220V±10% |
| 重量 | 300kg |
| 噪音 | 30db |
| 工作环境 | AC220V±10% |
柏先生/18929339897
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