Kosaka 8寸台阶仪
ET4000A
极佳重复性与线性度
• 采用直动式探针；
• 可避免圆弧补正误差；
• 可避免Bearing间隙误差；
• 段差测定再现性；
• 1σ 0.2nm以内,但实际高速测试中可达0.1nm
高分辨率
• 纵轴最高分辨率0.1nm；
• 横轴最高分辨率0.1um；
• X测定速度可调：5μm~2mm/s；
低测定力
• 测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定；
• 可测定软质材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等。
超高垂直直线度
• 可追溯性：通过ISO9000国际认证，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，产品出厂皆有出厂测试认证报告；
• 超高垂直直线度精度保证：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm；
• 可测定样品的平面度、波纹度、翘曲度、内应力。
真直度保证-1
线性尺与时间取样
形状及粗度解析果
粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测量参数多达60种；
成交客户（包括但不限于）
