• 设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震；
• 独家专利的直动式传感器设计；
• Z方向分辨率0.1m；重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm；
• Z方向线性度为±0.25% （样品厚度＞ 2000A）；5A （样品厚度≤2000A）；
• 样品台的垂直直线度保证：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm；
• 高精度的X方向位移光栅尺控制，X方向最大测量长度100mm，Y方向最大移动 150mm；
• 选配三维测量功能。
极佳重复性与线性度
• 采用直动式检测方式；
• 可避免圆弧补正误差；
• 可避免Bearing间隙误差；
• 台阶测定重复性：1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm；
• Z方向线性度为±0.25% （样品厚度＞ 2000A）；5A （样品厚度≤2000A）。
高分辨率
• 纵轴最高分辨率0.1nm；
• 横轴最高分辨率0.1um；
• X测定速度可调：5μm~2mm/s；
• 可测量超薄样品、高深宽比样品、多层台阶等。
超高垂直直线度
• 垂直直线度：任何直线垂直方向上的偏移量称为垂直直线度；
• 可追溯性：通过ISO9000国际认证，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，产品出厂皆有出厂测试认证报告；
• 超高垂直直线度精度保证：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm；
• 可测定样品的平面度、波纹度、翘曲度、内应力。
位移光栅尺与时间取样
ET150绝佳的设计 达到最佳的测量效果
• 设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震
→ 最佳的测量稳定性和设备稳定、耐用性
• 直动式检测器
→ 最佳的测量重复性&线性度，确保各样品台阶测量的精度、准确度
• 样品台超高的垂直直线度保证
→ 进一步提高台阶测量精度，确保样品形状不变形
• 样品台X方向光栅尺定位，最长测量距离100mm，最快测量速度5μm/s
→ 样品周期性结构不失真，长距离有利于测定多种国际参数
形状及粗度解析果
粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测量参数多达60种；
超大测定力范围
• 测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定；
• 可测定软质材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等。
成交客户（包括但不限于）
