俄罗斯 Optosystem准分子激光器CL7000_其它光刻设备_光刻设备_半导体加工设备_设备馆

俄罗斯 Optosystem准分子激光器CL7000

人气:555 销量:0 评价:0

准分子激光器： CL7000, 俄罗斯 Optosystem

准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。

CL7000系列技术参数：

型号	ArF	KrF	XeCl
波长	193 nm	248 nm	308 nm
管材料	陶瓷
预电离	火花
标准脉冲能量	250 mJ	400 mJ	300 mJ
平均功率 CL 7020 CL7050 CL 7100	5 W 10 W 20 W	8 W 20 W 35 W	6 W 15 W 25 W
最大重复频率 CL 7020 CL 7050 CL 7100	20 Hz 50 Hz 100 Hz
脉宽	17 ns	20 ns	20 ns
脉冲稳定度	sigma < 2%
光斑大小	6 x 20 mm	6 x 21 mm	7 x 22 mm
光束发散角	1.5 x 4.5 mrad
时间抖动	< 2 ns
尺寸, (重量)	1350L x 375W x 710H мм (170 kg)
冷却 CL 7020 CL 7050 CL 7100	风冷水冷（水流< 1L/min）水冷（水流< 3L/min）
功率 CL 7020 CL 7050 CL 7100	220V / 50Hz, 10А, 不超过1500 VA 220V / 50Hz, 10А, 不超过 1800 VA 380/220V, 50Hz, 10А, 不超过 3500 VA
气体	1 premix cylinder
控制接口	RS 232, DOS/Windows

联系方式