编号：
功率：
芯片数量：
准分子激光器： CL7000, 俄罗斯 Optosystem
准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。
CL7000系列技术参数：
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型号 |
ArF |
KrF |
XeCl |
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波长 |
193 nm |
248 nm |
308 nm |
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管材料 |
陶瓷 |
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预电离 |
火花 |
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标准脉冲能量 |
250 mJ |
400 mJ |
300 mJ |
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平均功率 |
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最大重复频率 |
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脉宽 |
17 ns |
20 ns |
20 ns |
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脉冲稳定度 |
sigma < 2% |
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光斑大小 |
6 x 20 mm |
6 x 21 mm |
7 x 22 mm |
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光束发散角 |
1.5 x 4.5 mrad |
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时间抖动 |
< 2 ns |
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尺寸, (重量) |
1350L x 375W x 710H мм (170 kg) |
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冷却 |
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功率 |
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气体 |
1 premix cylinder |
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控制接口 |
RS 232, DOS/Windows |
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可选功能：
1 、1000Kz型号可选
2、窄线宽型号可选，线宽0.03cm-1
3、 F2，157nm型号可选
特点：
1、陶瓷放电激光腔设计，长寿命
2、激光腔，电子系统一体化设计
3、功率稳定运行模式
4、预混合供气，使用简单
5、计算机控制
应用 ：
1、准分子激光脉冲沉积镀膜
2、准分子激光光栅光纤（FBG）刻写
3、准分子激光材料加工，微纳制造，光刻
准分子激光激光沉积镀膜（PLD）系统示意图
准分子激光器光纤光栅（FBG）刻写原理图
