瑞典MYCRONIC世界领先的光刻机
Prexision-800.Prexision-800.Prexision-8/10
Prexision-800, Prexision-80, Prexision-8/10
为未来显示领域的标准而生
现在我们每天都在使用的都是先进的显示技术。从数字标牌和电视机,到智能手机和平视显示器,Prexision系列光刻机在这次技术革命中发挥着关键作用。全世界制造商的先进平板显示器都在使用Prexision系列光刻机。这是消费者可找到的分辨率最高的屏幕。
主要优势
提高分辨率 25%
更佳的贴片性能 70%
更快的写入速度20%
Prexision-800
显示器行业显示出快速的技术发展趋势,像素点越来越小,趋向采用复式显示器技术,例如AMOLED。这种趋势需要更复杂的像素设计和更多的内部像素模式。
Prexision-800旨在支持搭配最先进显示器的节能产品,如:搭配4K显示屏的智能手机。Prexision-800分辨率提高了25%,这一新的分辨率标准,不仅极大改善了均匀性,并且在不影响生产效率的情况下即可实现更佳的图形拟真度,这无疑会使显示器制造商大大获益。
Prexision-80
Prexision-80是为智能手机和平板电脑显示屏,达到第8代尺寸的面板不断增长的像素密度的光掩膜需求而设计的。对于最高分辨率的AMOLED和LCD,Prexision-80的光掩膜质量是无与伦比的。我们的Prexision-80全局和局部的贴片性能更高70%,将光掩膜的质量带到了新的高度。
Prexision-8/10
Prexision-8和Prexision-10是非常适合批量生产先进的TFT-LCD光掩模。Prexision-8可支持的光掩模尺寸符合第八代面板的需求,并且Prexision-10可支持第十代面板。Prexision-8/10利用双重写入模式可提高20%的写入速度,这将有助于您优化吞吐量,质量也将取决于面板尺寸。
技术指标
|
Prexision-800 |
Prexision-80 |
||
模式 |
HA |
HT |
HA |
HT |
最小值 L/S 已解决[pitch/2] |
550 |
850 |
750 |
1000 |
关键尺寸精度[nm] |
15 |
20 |
30 |
35 |
掩膜组套合3σ[nm] |
75 |
100 |
75 |
100 |
写入速度[mm²/min] |
900 |
1200 |
900 |
1200 |
最大掩膜尺寸[mm] |
1400 x 1620 |
1400 x 1620 |
|
Prexision-8 |
Prexision-10 |
||
模式 |
HA |
HT |
HA |
HT |
最小值 L/S 已解决[pitch/2] |
750 |
1000 |
750 |
1000 |
关键尺寸精度[nm] |
70 |
85 |
70 |
85 |
掩膜组套合3σ[nm] |
90 |
120 |
90 |
120 |
写入速度[mm²/min] |
900 |
1200 |
900 |
1200 |
最大掩膜尺寸[mm] |
1400 x 1620 |
1700 x 20 |