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瑞典Mycronic 掩膜计量系统Prexision-MMS
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品牌 瑞典Mycronic
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瑞典Mycronic 掩膜计量系统Prexision-MMS
 
详细介绍


掩膜计量系统

证明您的质量

为了说明产品是符合规范的,您必须证明激光掩膜上的图形能够在制造显示屏时恰当地对齐。为了实现这一点,您需要比光刻机精度更高的测量设备。

 

主要优势

*更佳的配准 30%

*更好地将掩膜套合到掩膜上  20%

*更短的周转时间30%

· 最新的创新性Prexision平台具备优异的精准度与可重复性

· 用我们的专利技术改善配准测量。

· 因为第一次测量的结果精确无误,这大大给您节省了周转时间。

· 充分发挥我们的Prexision光刻机的潜力。


基于最精确的
Prexision平台打造出的Prexision-MMS将对大面积的配准测量带到了全新的高度。现在,您可以证明您的光掩膜质量究竟有多好了!

为充分利用其性能,您的测量系统性能对于精密调校光刻机也是极其重要的,这样您的光掩膜才能以最高的质量描绘出来。

 Prexision-MMS 提供两个型号。G8 型最高可处理用于 代显示器玻璃尺寸的掩模尺寸。对于 G10 型,最高可处理 11 代显示器尺寸。

 


技术指标
 

 

Prexision-MMS

掩膜对掩膜套合3σ[nm]

40

配准3σ[nm]

65

关键尺寸可重复性3σ[nm]

50

最大尺寸

G8

 

 
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