设备台面排列布置如（台面布置图）所示，共8个工作位，其中4个工艺槽，4个QDR槽，所有槽工作在洁净、全封闭的结构中，每个工作位有一个透明PVC自动门。每个工位均有一套单独的控制按钮（开始、停止、急停），工作参数通过触摸屏设置，并能存储最近设定参数历史记录。将来清洗片盒手工放在机械手上，操作人员按“开始/start按钮”后，安全门自动关闭，由机械手按照设定的工艺程序自动完成片盒在工艺槽及QDR槽间的传输，清洗完成后系统发出报警提出信号，待人工手动取出。设备台面的左、右前方分别配置PP材料的水气枪（1把气枪，4把水枪），便于工件及设备的清理。

 

台面布局：

整机主要由机架、工艺槽体、机械手系统、排风系统、电控系统、水路系统及气路系统等组成。

由于工艺槽内药液腐蚀性强，设备需要做防腐处理：
（1）设备机架采用钢结构骨架包塑；
（2）壳体采用瓷白色PP板材焊接成型，制程区由耐酸碱PP板材组合焊接而成；
（3）电气区设置在设备后上部，与湿区和管路区完全隔离；
（4）槽体材料选用耐相应溶液腐蚀的材料；
（5）机械手探人湿区部分的零部件表面喷氟/套PFA管/teflon定制，以期达到防腐耐用；
（6）药液管路中，管子、阀门、接头均为PFA材质；
（7）纯水管路采用C-PVC