X61 D13B2M-6T型研磨机技术规格书

1.1、本机主要用于蓝宝石、彩色滤光片、硅片、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面研磨，也可用于其它硬脆材料的双面高精度研磨。

1.2、高性能变频器配合三相异步电动机拖动，实现了设备的软启动、软停止等功能，调速稳定、 冲击小。

1.3、采用PLC控制，PT人机界面显示设备各项运行参数。采用电气比例减压阀电控调节正压（输出压力因输入电压的变化而平滑地改变），选用荷重传感器时时检测工件受力，并将信号反馈给控制单元构成压力的闭环控制，压力控制精确。

1.4、采用双电机同步拖动，中心齿轮的变速（即可正转，也可反转）范围广，工艺调整方便；

1.5、该机可由用户设定存贮多套不同的工艺参数（压力、时间、速度、速比、缓降压力、浮动时间等），以供操作工调用。

1.6、该机具有研磨盘自动称重功能，以此配合研磨压力设定，从而保证了同样研磨工艺参数（所设压力、时间、速度以及研磨液粒度、浓度、流量）的研磨效率长久不变.

1.7、该机的太阳轮既可正转运行，也可反转运行（相对于齿圈和下研磨盘, 人机界面首屏上选定）。

二、主要技术参数

2.1、 研磨盘尺寸（外径×内径×厚度）：Φ927mm×Φ358mm×45mm

2.2、游星轮规格：        Z=147  DP12  α=20°

2.3、游星轮数量：        6个

2.4、加工能力 ：         108片/φ50mm，30片/φ100mm，18片/φ125mm

2.5、最小加工厚度：      0.20mm

2.6、下盘转速：          0～60rpm

2.7、太阳轮转速          0～30rpm

2.7、主电机：            7.5kW    1460rpm

2.9、太阳轮电机：        1.5kW    1400rpm

2.10、设备外形尺寸：      1600mm×1200mm×2850mm

2.11、设备质量：          约3000kg

三、设备的安装及使用条件

3.1、 设备箱体上装有四个起吊柱，专门用于设备搬运时吊装，设备应安装在地面平坦，远离振动源，无灰尘烟雾污染的场所。

    设备安装的条件为：

      a、温度10℃-25℃

      b、相对湿度≤95%

      c、电源电压380±38V（三相五线制）

      d、压缩空气源 0.5-0.6MPa

3.2、设备可直接放在地板上，调整垫铁可校正设备的水平，校正时，用水平仪在下研盘上检测（即在相互垂直的两个方向上检测、校正），其水平应调至0.06/1000mm。

四、整机精度指标

4.1、上下抛光盘平面度：≤0.02mm

4.2、 下抛光盘端面跳动允差：≤0.06mm

五、基本配置

5.1、气动元件        　　　                    SMC、亚德客等

5.2、减速器　　　　　　　　　　                国产

5.3、轴承      　　　　　　                    国产

5.4、可编程控制器（PLC）                       OMRON  

5.5、可编程人机界面PT　                        OMRON

5.6、拉力传感器              　　　　           国产

5.7、变频器　　　　　　　                       施耐德

5.8、 低压电器       213、魏德米勒等

5.9、 旋钮开关、电器开关                213、和泉等

5.10电机                                        国产