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晶片传送系统New wafer loader
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 联盟体系共同开发的晶圆传送系統,可连结显微镜及其他制程生产腔体,將晶片从晶舟传送至生产腔体內,过程中可提供晶圆表面及背面的巨观检测,同时具有notch对位的功能。可搭配SMIF系統使用(选配)
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