探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本
该探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－13mm；z方向调节范围：0－13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。
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实验腔体 |
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腔体材质 |
304不锈钢 |
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上盖开启 |
铰链侧开 |
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内腔体尺寸 |
φ140x180 |
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加热台材质 |
304不锈钢 |
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观察窗尺寸 |
φ75 |
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加热台尺寸 |
50x50 |
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加热台温度 |
室温-350℃可调 |
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加热台温控误差 |
±1℃ |
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真空度 |
机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
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真空抽气口 |
KF25 |
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气体进气口 |
3mm-6mm卡套接头 |
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进气阀门 |
高精密针阀 |
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抽气阀门 |
KF25真空挡板阀 |
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压力表 |
机械压力表 -0.1-0.15mpa |
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信号电极 |
4个 |
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探针数量 |
4个 |
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探针材质 |
φ1.5钨针 其他材质可选 |
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探针移动平台 |
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X轴移动行程 |
30mm ±15mm |
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X轴控制精度 |
≤0.1MM |
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Y轴移动行程 |
13MM ±6.5mm |
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Y轴控制精度 |
≤0.05MM |
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Z轴移动行程 |
13mm ±6.5mm |
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Z轴控制精度 |
≤0.05MM |
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信号电极 |
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电极芯 |
1芯 |
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电极引出接头 |
BNC母头 |
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电极引出线 |
铜网信号屏蔽线 |
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BNC引出接头 |
X4 |
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额定电流 |
≤5A |
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额定电压 |
≤220V |
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电极芯直径 |
φ1mm |
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接触电阻 |
≤5MΩ |
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绝缘电阻 |
≥1000 MΩ |
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外壳接地 |
是 |
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电子显微镜 |
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电子显微镜根据客户需要配置不同倍率 请和客服沟通 |
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