气体配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合。混合后的气体通过真空测试腔体从而传感器根据不同比例的气氛环境传出不同的模拟量信号。控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加

该气体配比器可以外接3或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.

1.半导体制造行业中气体流量控制

2.各种真空镀膜设备

3.特种材料表面处理

4.气体燃烧控制

5.混和配气系统

6.泄漏探测系统

7.环境检测与分析设备

8.分析仪器的气体流量计量与控制

9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所



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