Description:
The Surfscan 6200 is a versatile surface inspection tool designed to meet the needs of a broad range of applications. Utilizing the latest developments in optical technology, the system easily detects sub-micron particles on rough surfaces such as polysilicon and tungsten.
Configuration：
Defects Any surface that scatters less than 90% of incident light
Defects sensitivity: 0.12um (>95% capturing rate)
Repeatability: <1.5%
Wafer Type:200mm, notch (SNNF), thickness: 725µm
Laser type:30 mW Argon-Ion laser, 488 nm wavelength
Computer OS :Windows9
Tencor6200
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| 单价 | ￥0.00 |
| 库存 | 10000台 |
| 品牌 | 未填写 |
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公司:无锡卓海科技有限公司
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地址:江苏省无锡市滨湖区嘉业路5号G幢1楼
QQ:1753353005
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