规格参数

电源：单相220V AC±10%、50HZ，可靠接地

消耗功率：1000VA

生产周期：133ms（取决于晶片尺寸及支架）

芯片旋转：±3°

最大晶环尺寸：8”（230mm）外径
最大晶片面积：7.1”(180mm)扩张后

固晶头：真空表面吸取式

外形尺寸：990mm(宽)×1225mm（深）×1600mm（高）