自动上料、位置校准、切割、清洗/干燥、下料均可由本系统自动完成
可以满足最大Φ300mm材料的高精密切割加工
双主轴同时切割、比单主轴切割产能提高85%以上
切割精确度：0.001mm
切割速度：0.05~400mm/sec
每个料盒可以存放20~30层料片
高精密晶圆划片机ADS2000技术参数
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系统组成 \ 项目 |
单 位 |
规 格 |
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加工尺寸 |
mm |
Φ300 |
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工作平台尺寸 |
mm |
Φ350 |
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X 轴 |
工作行程 |
mm |
500 |
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切割速度 |
mm/sec |
0.05 ~ 400 |
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分辨率 |
mm |
0.0001 |
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Y 轴 |
工作行程 |
mm |
650 |
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分辨率 |
mm |
0.0001 |
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重复定位精度 |
mm |
0.001 / 310 |
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Z 轴 |
工作行程 |
mm |
60 (2 Inch刀片) |
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分辨率 |
mm |
0.0001 |
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Θ 轴 |
旋转角度 |
deg |
360 |
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主 轴 |
功率 |
KW |
2.4×2 set |
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转速 |
rpm |
5,000 ~ 60,000 |
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整机规格 |
供给电源 |
V |
3P , 220 (50 ~ 60 Hz) |
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整机功率 |
KW |
8 |
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气源气压 |
MPa |
0.6 ~ 0.8 MPa |
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空气消耗量 |
L/min |
250 |
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切削水消耗量 |
L/min |
6.5 |
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冷却水消耗量 |
L/min |
2.5 |
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外形尺寸（W×D×H） |
mm |
1262×1704×2023 |
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整机重量 |
KG |
1900 |
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