高端型探针台GPS系列
产品型号
GPS150-200-300
产品特点
真空吸附卡盘可选6寸,8寸,12寸或其它(加热卡盘可选)
卡盘XY行程:150mm / 200mm / 300mm
高精密滚珠丝杠调节,可选电动控制
卡盘旋转0 ~ 30度(精细调整旋转可选)
卡盘上下行程:5mm
显微镜支撑移动平台行程 25mmx
Platen主体台板的移动范围可达20mm,带有粗调及精调装置
显微镜支撑主体采用大行程设计,可以整个台面范围内移动,定位精准,Z轴可自动聚集