石墨舟上下料机QT-3000-GPSXL18全自动管式PECVD硅片上下料机，石墨舟上下料机国内著名品牌首选启天科技，

 工艺

1．目的：将石墨舟内的硅片由机器人控制吸盘机构吸取出，然后通过输送线装进塑料花篮内，以及把塑料花篮内的硅片通过输送线输出再由机器人控制吸盘机构吸取硅片投放到石墨舟内。以供下一道工序使用。

2．适用尺寸：125/156mm单晶/多晶硅片

3．操作方式：全自动

4.  石墨舟上下料机设备结构原理：

管式PEVCD上/下料机如上图所示，已经镀膜的硅片由机器人吸取从石墨舟上取出，经第一条和第二条输送线导入花篮里；未镀膜的硅片从花篮里经第三条和第四条输送线导出后，再由机器人吸取装进石墨舟里，供下一道工序使用。其中每条硅片由上层和下层组成，用于满篮和空篮的自动切换。

装取片定位装置

未镀膜硅片通过传送带输送到硅片过渡承载盒里，过渡承载盒机构检测满盒之后会启动装取片定位装置精确定位精准确保每一块硅片的位置后，机械人再高速取片，以增加装取片的准确性。

自动换篮机构/满篮装载和空篮导出机构

换篮机构由机械手和换篮皮带输送线上下层组成，由机械手将篮具夹住进行导片，当篮具导空时，机械手将篮具夹住上升到上层皮带,对接好后流入空篮导出皮带，然后机械手下降至下层，将满篮的硅片引入到机械手上，开始准备再次导片。

Ａ、设备环境要求

1.电源：  AC三相380V  50~60Hz

2.总功率： 8 Kw

3.洁净压缩空气：5~7Kg/cm2

4. 洁净压缩空气流量：300L/min

5.输入真空压力：-80kpa

6.输入真空流量：400L/min

Ｂ、主要技术参数

1. 外形尺寸：(LxWxH)    5600x2150x2000mm

2．生产效率：上料3600pcs/h   下料3600pcs/h

3．碎片率：≤0.05/100（原碎片除外）

     外形尺寸图：

启天自动化设备股份有限公司资质：