SMART NanoTool物理气相沉积 (PVD)

工作原理：

被沉积的靶材，从高温中获得足够的能量从而蒸发。已蒸发的物质会沉积在衬底表面而凝聚，形成薄膜。

特点：

• 最小的实验室占用面积
• 能够与其他沉积和计量工具连接
• 自动化系统／软件 - Robo

应用范围：

• 多种薄膜沉积技术
• 欧姆接触沉积和退火
• 离子束加工（蚀刻和沉积）
• 半导体面具制备