厚膜&薄膜电路激光蚀刻机 盛雄激光
型号：SC-K600
银浆、ITO蚀刻样品：
行业应用：
1、电阻式、电容式触摸屏银浆线路蚀刻、修复。
2、ITO及各类金属导电膜线路激光蚀刻。
3、PCB行业薄膜电路光刻掩膜板激光蚀刻成型。
4、太阳能光伏硅基板薄膜电路蚀刻。
机器优点：
1、激光蚀刻为干式蚀刻，加工制程简单，所有加工均由软件自动控制，产品一致性高，良率高达99%。
2、最小蚀刻线宽20μｍ，支持银浆线路和ITO一次性同时蚀刻，轻松实现单层多点电容屏sensor线路蚀刻。
3、CCD视觉自动寻靶，一次性可加工650mm×550mm范围，拼接精度≤±3μｍ。
4、支持多种视觉定位特征，500万像素单点抓靶时间小于１秒钟，克服了印刷变形过大导致激光蚀刻偏位的问题，定位精度≤±3μｍ。
5、激光蚀刻机5万小时无耗材，免维修，使用成本低，替代黄光制程。
技术规格参数
| 序号 | 项目 | 技术参数 |
| 光学单元 | ||
| 1 | 激光器类型 | 532,1064nm(纳秒&皮秒)可选 |
| 2 | 激光功率 | 20W |
| 3 | 光束质量 | M²<1.3 |
| 4 | 聚焦方式&加工头数 | 平场聚焦镜、单头 |
| 5 | 最小聚焦光斑直径 |
Ф18μm |
| 激光加工性能 | ||
| 6 | 加工速度 | 1000~4000mm/s可调 |
| 7 | 最小蚀刻线宽 | 20μm |
| 8 | 蚀刻线宽精度 | ±1.5μｍ |
| 9 | 激光单次最大工作范围 |
130mm×130mm，20μｍ线宽 170mm×170mm，35μｍ线宽 |
| 10 | 激光蚀刻最大工作范围 | 650mm×550mm任意自动拼接 |
| 11 | 激光蚀刻线路拼接精度 | ≤±3μm |
| 机械单元 | ||
| 12 | 机床结构 | 立柱&龙门式 |
| 13 | 机床运动轴数&种类 | 最多8轴, X，Y, Z, & θ轴 |
| 14 | 平台最大行程&速度 | 650mm×550mm,800mm/s |
| 15 | 运动平台重复精度 | ≤±1μｍ |
| 16 | 运动平台定位精度 | ≤±3μｍ |
| 软件控制单元 | ||
| 17 | 激光加工&平台控制 | Strongsoft, Strongsmart |
| 18 | 加工文件导入格式 | Dxf, Plt, DWG, Gebar |
| 19 | CCD视觉定位软件 | AISYS Vision |
| 20 | CCD视觉定位精度 | ≤±3μm |
| 电气单元 | ||
| 21 | 真空系统 | 真空发生器 |
| 22 | 除尘&集尘系统 | 离心式风机 |
| 安装环境 | ||
| 23 | 整机供电&稳压器功率 | 220V\380V,5KW |
| 24 | 压缩空气压强 | ≥0.6MPa |
| 25 | 无尘室等级 | 10000 |
| 26 | 地面承重 | 2T/m² |