【晶体扫描仪—显微扫描】
设备特点：
1. 采用高速相机配合高亮冷光源及光纤，保障图像的清晰度；
2. 夹具设计采用4x4矩阵扫描方案，提升检测效率；
3. 像素分辨率: 2.8um/1.4um/0.7um可选；
4. 采用3PC分析处理方案，保障检测效率及数据稳定性；
5. 可按照芯片尺寸设定最小分析单元。
2. 夹具设计采用4x4矩阵扫描方案，提升检测效率；
3. 像素分辨率: 2.8um/1.4um/0.7um可选；
4. 采用3PC分析处理方案，保障检测效率及数据稳定性；
5. 可按照芯片尺寸设定最小分析单元。
系统配置：
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用途
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1、LED外延片/芯片/PSS图形缺陷检测
2、支持排线及电子印刷等图形缺陷检测
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型号
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XTL-2K
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载物台
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全自动扫描载物台
行程：158mm x 158mm/210mm x 210mm可选
支持夹具定制
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反馈系统
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线性反馈尺， 解析率：0.1um/1.0um可选
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聚焦
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电动聚焦系统
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探测系统
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特殊深景深显微组合设计； 高品质彩色成像系统；
综合放大倍率8.0x～100x； 超长工作距离>50mm
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照明方式
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专用组合环形光源及同轴光可切换照明
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软件系统
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高性能缺陷检测算法软件系统，内嵌美军标判据基准软件；
提供各类数据库接口，可将测量结果上传至工艺主控终端
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检查性能
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高品质自动抓图及拼图功能； 结合自动标注存档功能
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隔震系统
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隔振平台，有效隔离高频振动
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标配外观尺寸
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长：1200mm 宽：800mm 高：1500mm
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