【W系列—弧高台阶仪】
专利号:ZL201120280620.7
探测系统:
显微探头:实现快速弧高及台阶测量,可测弧高台阶范围50~2000μm(一般弧高的高度不超过800μm),并支持器件几何尺寸测量;
激光探头:
实现快速台阶测量,可测台阶范围2~500μm,并支持表面轮廓扫描。
系统配置:
用途
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1.弧高测量 2.台阶测量 3.器件尺寸测量
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型号
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WB-70RX
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载物台
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全自动载物台
行程:105mm X 105mm
支持夹具定制
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聚焦
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电动聚焦系统,解析率:1.0μm
显微探头:含影像自动聚焦及特有双ROI长焦扫描功能
激光探头:含影像辅助定位功能
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照明系统
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环形、同轴照明可选
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软件系统
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图像处理软件系统,
带虚拟弧高算法功能及SPC控制模块
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检查性能
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显微探头:高度测量3σ≤3.0μm,精度±3um;
激光探头:高度测量3σ≤0.2μm,精度±0.2um;
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标配外观尺寸
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长:800mm 宽:750mm 高:1500mm
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