真空炉
● 用 途：
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用于硅片的真空合金、背金工艺
用于二极管真空烧结、真空焊接；热敏电阻等器件的真空烧结
● 特 点：
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无油分子泵机组
短时间达到高真空
关键件全部采用进口件，具有高可靠性
具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能
具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置
可配备氢气系统
升降温快，生产效率高
● 技术指标：
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结构型式 |
卧式、立式；1-4管 |
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温度范围 |
200～1200℃ |
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极限真空度 |
优于10-4Pa |
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工艺气体 |
N2、H2 |
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温区长度及精度 |
± 2℃/300mm--800mm |
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腔体材质 |
石英管、不锈钢管 |
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口径 |
￠100mm--￠400mm |
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载重量 |
10-40KG/管 |