多晶铸锭炉NXRJ-MC500 B/P 宁夏日晶
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多晶铸锭炉NXRJ-MC500 B/P
| 多晶铸锭炉NXRJ-MC500 B/P |
| 主要功能 |
NXRJ-MC500 B/P |
参数 |
| 产品规格 |
500Kg装料 |
840mmX840mmX304mm |
| 机身重量 |
主炉体 |
约5500Kg |
| 操作箱 |
约50Kg |
| 控制箱 |
约400Kg |
| 电源箱 |
约1800Kg |
| 外形尺寸 |
|
4800mmX3500mmX5100mm |
| 腔体 |
内径 |
1870mm |
| 材质 |
内：SUS316L 厚16mm |
| 外：SUS304L 厚8mm |
| 高度 |
上腔体：1580mm |
| 下腔体：780mm |
| 炉盖厚：68mm |
| 3组电极中心距 |
900mm |
| 观察窗 |
测温及观察：1处 |
| 冷却水流路分割 |
螺旋形构造 |
| 冷却水排水口 |
炉体各部件最下部 |
| 保温体 升降机构 |
升降驱动方式 |
自动/半自动 |
| 升降行程 |
≤380mm |
| 限位开关 |
2处（上限、下限） |
| 下炉体 升降机构 |
升降驱动方式 |
半自动 |
| 升降行程 |
≤950mm |
| 限位开关 |
2处（上限、下限） |
| 真空度 |
结晶的拉制环境 |
60KPa（工艺要求） |
| 空的冷炉极限真空度 |
3Pa以下 |
| 允许泄露量 |
5Pa/Hr以下 |
| 真空管路 |
真空管道的接口尺寸 |
ISO 100mm |
| 控制阀 |
自动/手动 |
| 炉压控制精度 |
+0.15KPa |
| Ar气管路 |
最大流量 |
200L/min(用MFC控制Ar) |
| 输入压力 |
2.7kg/cm2以上 |
| 电气控制系统 |
加热器电源 |
输入电压:AC三相380V(50/60Hz) |
| 加热器功率:200KW |
| 输出控制方式:功率控制/温度控制 |
| 功率控制精度:额定直流输出±2%内 |
| 冷却水流量:不小于20L/min |
| 温度测定 |
B型热电偶 |
重复精度:±0.5ºC |
| 测定范围:0~2000ºＣ |
| 红外测温仪 |
重复精度:0.1% |
| 测定范围:600~2000ºＣ |
| 控制方式 |
控制器构成 |
工业级平板电脑(带触摸屏) |
| 三菱PLC/基恩士PLC |
| 工艺控制方式 |
装料:手动 |
| 抽真空:手动/自动 |
| 加热:手动自动 |
| 溶解、稳定：手动/自动 |
| 凝固、结晶:手动/自动 |
| 退火:手动/自动 |
| 冷却:手动/自动 |
| 取出:手动 |
| 冷却水系统 |
冷却水源输出输入口 |
Φ50mm（2英寸） |
| 流量 |
300L/min~350L/min |
| 水压 |
3Kg/cm2~3.5kg/cm2 |
| 进出水压力差 |
2Kg/cm2以上 |
| 进水温度 |
20~30ºC |
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