单晶炉NXRJ-CZ8520 B/P 直拉式硅单晶生长炉生产厂家
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单晶炉NXRJ-CZ8520 B/P
| NXRJ-CZ8520 B/P |
| 主要功能参数 |
NXRJ-CZ8520 B/P |
| CCD |
相素 |
2,000,000 |
| 个数 |
单CCD |
| IRCON |
精度 |
0.1ºC |
| 晶料相关 |
装料量 |
95Kg |
| 通用直径 |
6~8"/或非标 |
| 坩锅直径 |
18"/20" |
| 晶棒最长尺寸 |
2010mm |
| 机器外型 |
中炉内径 |
850mm |
| 机器安装面积 |
1750x1550mm |
| 机器高度 |
7300mm |
| 炉体重量 |
~4000Kg |
| 电源系统 |
输入电源 |
三相AC380V±5% 240KVA |
| 电源频率 |
50HZ/60HZ |
| 加热器功率 |
Max:150Kw Dc50V 2700A |
| 电源装置 |
1GBT/可控硅 |
| 可控硅&变压器 |
全水冷数字CPU控制 |
| 双LCD显示屏 |
有 |
| 籽晶升降 |
籽晶行程 |
3200mm |
| 籽晶升速 |
低速0~10mm/min |
| 高速600mm/min |
| 籽晶转速 |
0~40RPM |
| 籽晶绳材质 |
钨质直径1.8mm |
| 坩埚升降 |
坩埚行程 |
350mm |
| 坩埚升速 |
低速0~0.5mm/min |
| 高速100mm/min |
| 坩埚转速 |
0~21RPM |
| 最大载重 |
>182Kg |
| 其他 |
籽晶晃动范围 |
转速<12RPM时晃动<2mm |
| 炉体水平度 |
水平<0.06mm/m |
| 极限真空 |
<3mT |
| 真空漏气率 |
<0.5mT/min |
| 控制方式 |
PLC |
三菱Q06H/基恩士PLC |
| PC |
高性能PC(双屏) |
| 自动/手动 |
全自动 |
| 称重系统 |
精度 |
无 |
| 液面测温 |
控制范围 |
无 |
联系方式
