12''高端探针台

12'' probe station 

•  总重约 150千克

•  尺寸: 926mmW*700mmD*700mmH

•  12" 卡盘，采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品，均独立控制，中心吸附孔最小可以选择250微米

•  卡盘平整度: 5µm, 标准卡盘可360度无间隙旋转

•  卡盘X/Y轴无间隙移动，大手柄旋转控制，行程：12英寸X 12英寸，移动精度：1um，并带锁死装置

•  可调节显微镜在 X-Y 平面2" x 2" 范围内移动,精度1微米（系统不包含显微镜）

•  可调节显微镜快速倾仰,便于更换物镜，带自动锁定功能

•  平台快速升降行程 6mm并带自动锁定功能

•  平台上下微调行程25mm，升降精度1um

•  平台可升降调节适合加装探针卡，便于针卡重定位