手动高低温探针台
型号：HMP-800SC 可测8’’晶圆
型号：HMP-1200SC 可测12’’晶圆
此款手动探针台系统针对于新一代半导体装置设计，非常低的噪音和低的漏电流。在这个系统中，屏蔽的样品腔包含探针和样品台全部都在EMI屏蔽环境中。此系统支持超低信号测试，1/f噪音测试，S参量测试，和高速I-V测试在控温变温环境中从-60℃到300℃（或者特殊环境到400℃）
此探针台系统可选支持高电流和高电压功率测试。
HMP-610SC 6’’晶圆可选。
应用：
温度范围：室温到300℃或-60℃到300℃
超低信号I-V测量（fA级）
各种C-V测量（准静态C-V, HF-CV，RF-CV）[sub pF级]
1/f噪音评估
RTN（自由电子噪音）评估
高频噪音评估（到800MHz）
RF测量（到67GHz）/S 参数测量
超高速I-V测量
扩展应用：
支持探卡（支持多点位晶圆可靠性测试WLR）
光电子中光接收/发散特性评估应用（如：LED，LD，VCSEL，PD）
高功率元器件测量（200A脉冲，+/-3kV三轴,+/-10kV同轴）
晶圆的可靠性测试（如：EM，TDDB，HCI，NBTI，BT）