性能:
- 基板尺寸：大尺寸基板1300mmX900mm（可选500mmX400mm适用于科研的小尺寸）
- 高放大倍数金相显微镜：EP.10~20X, Zoom.1~2X, OB.2X, 10X, 20X, 50X...
- 显微镜Z轴线性气动移动行程：0~30mm
- 显微镜X-Y方向移动行程：25mmX25mm
- 左右各两个放置针座台面
- 防震装置
- 卡盘快速拉出装置
- 显微镜倾仰装置
- 射频测试探头/电缆
- 有源探头
- 低电流/电容测试
- 高压测试
- 激光修复
- CCD/数字相机，USB接口
- 探针卡/封装/PCB板夹具
- 加热装置
- 防震桌
- 屏蔽箱
- 显微镜暗场/Normarski 检测
