■ UVO-CLEANER 紫外光加臭氧 清洗機

是去除有機污染物(Organic Contaminants) 最安全、最有效率的方式
特別是針對”矽晶片”，”砷化鎵”，”石英”，”藍寶石”，”玻璃”，”雲母”，”陶瓷” 及”金屬” 等材料。

■ UV plus [O] is the magic!

有機污染分子(如"光阻劑"，"樹脂"，"人類表皮油脂"，"清潔劑殘留物"，"矽油"，"助燃劑" 等)。經吸收短波長之UV 輻射(253.7nm) 即變成激發狀態之分子，再與活性氧原子[O] 起反應/ 結合，即形成易揮發之分子，離開物體表面，如此即達到其清洗之效果。

■ 多種不同系統與照射時間之清洗效率比較表

■ 各種機型規格如下：