多功能硅片分选机 奥特维
| 多功能硅片分选机 | Multi-Purpose Wafer Sorter |
| 设备型号 | WS60A |
| 检测项目 | Operation Parameters |
| 设备产能 | 5400PCS/6000PCS/Hour（Oper. Value/Design Value） |
| 电阻率(欧*CM） | 0.3-15(1%F.S) |
| 型号（P/N型） | Yes (0/1) |
| 总厚度偏差TTV (μm) | ≧5 μm |
| 翘曲 (μm) | 15-100 μm |
| 线痕 (μm) | ≧5 μm |
| 厚度 (μm) | 100-240 μm |
| 段差 (μm) | ≧5 μm |
| 隐裂 NDVC (mm/mm2) | ≧5mm crack line，or an area of 0.5*0.5mm2 |
| 边长 (mm) | standard length±0.05mm |
| 对角线 (mm) | standard diagonal length±0.05mm |
| 垂直度（度） | standard value±0.1 degree |
| 脏污 (mm2) | ≧an area of 0.25*0.25 mm2 |
| 崩边(mm2) | ≧an area of 0.020*0.200mm2 |
| 上料工位数 | Two work stations automatic switch |
| 标配下料合个数 | 36+1 |
| 总设备尺寸 | 7000*1400*2000mm |
| Feed Area： 1400*1100*1300 | |
| Test Area： 3200*1300*2000 | |
| Outlet Area X2： 1350*1200*2000 | |
| 设备重量（各单元重量） | 2300Kg(200Kg+1500Kg+400Kg+400Kg) |
| 供电电源 | AC 220±10% 50-60Hz 3.0KW |
| 压缩空气 | 0.4-0.7MPa 0.2m3/min |