产品特点
量程范围:5Kpa~60MPa(可定制)
尺寸规格:1mm×1mm、2mm×2mm、3mm×3m
全硅结构、抗高过载
温度、压力单片集成
具有电磁屏蔽结构
自主设计、MEMS体硅工艺生产的高可靠性MEMS压力传感器芯片,产品量程涵盖5Kpa~60MPa,包括表压和绝压两种类型。芯片尺寸有1mm×1mm、2mm×2mm、3mm×3mm三种尺寸规格,其中2mm×2mm、3mm×3mm两种系列产品实现温度、压力单片集成;全系列压力传感器芯片采用电磁屏蔽等技术,具有较高的环境适应性、可靠性和高精度。