超高速记录动态三维形貌
DHM® 采用非扫描机制，采集单帧图像 既能记录样品表面三维形貌，因此拥有其他技术无法匹敌的图像采集速度。使用标准相机采集速度为视频速率30帧/秒，而高速相机可以达到1000帧/秒，使得以下应用变为可能：
• 研究可形变样品三维动态响应
• 表面大区域扫描分析
• 高产量常规检测
• 生产线在线三维形貌捕捉

MEMS测振分析，最高可达25 MHz
频闪模块(可选配件)可同步DHM® 测量时激光脉冲与 MEMS器件的激励信号，获取振动周期内的全视场振动模态。 这些特有的分析数据可提供以下信息：
• 三维形貌时序图
• 频率共振分析和响应分析
• 面内面外振幅分析(面内振幅测量精度1nm，面外振幅测量精度5pm)
• 复杂运动表征，振动模态表征，样品动态三维形貌

多种可控环境下测量
独特的光学原理和光路设计使得DHM® 能够满足使用者在各种环境下的测量需求，提供灵活和便利的测量体验：
• 透过玻璃(盖玻片、载玻片、玻璃窗口)或者浸润液
• 观测环境控制箱或真空腔内部样品，可改变环境参
数，比如温度、湿度、气压、气体成分等

测量透明样品三维形貌
得益于DHM® 多激光源配置，通过专用反射分析软件(可选配件)可以表征透明薄膜样品，包括：
• 透明结构表面形貌
• 多层透明薄膜组成结构的厚度、折射率，测量范围
可从10纳米至几十微米
• 柔性材料或是液体的形貌

性能

测量模式

单激光波长 666 nm

双激光合成波长 4.2 μm

双激光合成波长 24 μm

可用该测量模式的DHM型号

R1000, R2100, R2200

R2100, R2200

R2200

测量精度1 [nm]

0.15

0.15 / 3.0 *

20

纵向分辨率2 [nm]

0.30

0.30 / 6.0 *

40

测量可重复性3 [nm]

0.01

0.01 / 0.1 *

0.5

动态可测纵向范围

最大 200 μm

最大 200 μm

最大 200 μm

最大可测台阶高度

最大 333 nm4

最大 2.1 μm4

最大 12 μm4

适用样品表面类型

平滑表面

复杂或非连续结构表面

复杂或非连续结构表面

垂直校准

由干涉滤光片决定，范围 ±0.1 nm

图像采集时间

标准 500 μs (最快可选10 μs)

图像采集速率

标准 30 帧/秒 (1024 x 1024 像素) (最快可选 1000 帧/秒)

实时重建速率

标准 25 帧/秒 (1024 x 1024 像素) (最快可选 100 帧/秒)

横向分辨率

由所选物镜决定，最大 300 nm**

视场

由所选物镜决定，范围从 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm **

工作距

由所选物镜决定，范围从 0.3 至 18 mm**

数码聚焦范围

最高50倍于景深 (由所选物镜决定)

最小可测样品反射率

低于 1%

样品照明

最低 1 μW/cm2

频闪模块

适用于单光源和双光源模式