1、 设备用途:本设备用于制备各类高熔点金属膜、介质膜、化合物膜、导电薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等,广泛应用于大专院校、科研机构对薄膜材料的科研及小批量制备。
2.技术数据:
极限真空度(分子泵系统) | 5.0×10-4Pa | 压升率 | 0.33Pa/H |
电子束蒸发源 | e型电子枪 | 阳极电压 | 6KV、10KV |
功率 | 0—6KW可调 | 坩埚容积 | 10-15cc |
转盘可放样品数 | 6个 | 样品最大尺寸 | Ф60mm |
加热温度 | 室温~400℃ | 控温精度 | ±1℃ |
样品公转转速连续可调 | 0-60RPM |
2.2主真空室立式U型真空室前开门,双层水冷
2.3主真空室真空获得系统分子泵,机械泵,高真空气动挡板阀
2.4石英晶体振荡膜厚监控仪速率分辨率0.1-99.9à/分,厚度分辨率1à
2.5气路系统设有一路高精度氧气质量流量控制器,流量0-50SCCM
3.技术规格:JEBC-xxxx